影视:快猫记录生活记录你,讲述了
"光刻中的硅片,就像是挂在墙上的投影布,而光刻机则是投影仪,如果投影布表面不平整,出现起伏,那投影的画面自然就会扭曲变形。在光刻中,硅片的表面瑕疵,则会导致投影上去的电路设计路变形,从而导致良率降低,甚至整张晶圆报废。所以想要得到一张能用来制造芯片的硅片,则需要把切割后的单晶硅片进行抛光打磨,直至它的表面平整度低于1.5nmRMS。这相当于在电影院挂上一块大幕布,它的表面起伏不能超过一根头发丝大小,无限接近于完美的镜面。因此,这对硅片制造抛光工艺要求,自然就显得极其重要了。从圆珠笔头上的小钢珠,到芯片的原材料硅片,再到光刻机上的镜片,最后甚至是科幻三体中表面完美无暇的水滴……....
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